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        CRF plasma 等離子清洗機

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        • 等離子體處理技術已是一種不可替代的成熟工藝

          在IC芯片制造領域中,等離子體處理技術已是一種不可替代的成熟工藝,不論在芯片源離子的注入,還是晶元的鍍膜,亦或是我們的低溫等離子體表面處理設備所能達到的:在晶元表面去除氧化膜、有(機)物、去掩膜等超凈化處理及表面活(化)提高晶元表面浸潤性。

          等離子體處理

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